①目的

・放電加工後に底面の形状を高精度に測定したい。
・放電面の状態を機上で確認したい。

②導入のポイント

[位相シフト法による新型撮像部の開発をおこなった熊本精研工業製機上測定機『NK-3000』]

・これまで機外でしか測定ができなかった高低差をともなう底面の形状確認を機上でおこなえる
・加工面の高低差、凹凸、段差を測定できる

③実例

放電加工で作った微小な段差を計測

➡分解能2.5μの測定能力により18μの段差の計測をおこなうことができた

④結果

1)従来の画像式の機上測定ではできなかった高低差(Z軸方向)の高精度な測定が可能となった。

2)カメラユニットの構成として6×4mmの視野角内で0~500μの高低差を分解能2.5μの能力にて機上計測ができた。

3)形状の確認だけでなく、面の凹凸についても機上で確認することができた。

本製品は、2023年6月21日~23日 東京ビックサイトで
開催される機械要素技術展に実機展示いたします。